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产品名称：固体SIC
产品大类：半导体
产品小类：固体ＳｉＣ
添加日期：2011-7-13
固体SiC东海独创技术开发的固体SiC是采用化学气相沉淀工艺（CVD法）生产的超高纯度SiC。是半导体装置部品的最合适选材。
产品特性
超高纯度
出色的耐化学性
较少的金属扩散
无除气性
具有理论密度（β-SiC）
用途
晶片装载器
感应器
假晶片
导环
刻蚀系统等部件
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