碳素的缺点主要是气孔、粒子，为了克服这些问题，东海的SiC涂层材料，是兼具了石墨原有的特长和成膜特性的新型功能材料。从基材到涂层品的一条龙生产体制以100%达到质量要求为目标，将最佳的特性全部发掘出来，将基材的粒子、气孔、热膨胀特性和成膜特性予以调整，孕育出各种产品。
以基材、涂层、加工一条龙的生产体制为基础，可根据客户的规格要求进行设计。
主要产品有：CZ用部品、各种感受器部品、SiC涂层品根据不同的需求，可选择以往的CVD SiC涂层石墨或使用东海特有技术新开发的CVI SiC涂层石墨，可用于各种用途。
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产品特性
出色的抗热冲击阻力
出色的抗物理冲击阻力
出色的耐药化学性
超高纯度
可加工成各种复杂的形状
在氧化环境下仍然可以使用 |
用途
外延用感应器
CVC用感应器
各种加热器
拉晶机部件
LED感应器 |
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石墨基材的代表特性值 |
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品种 |
表面密度 |
电阻率 |
抗折强度 |
肖氏硬度 |
灰分 |
导热率 |
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g/cm3 |
μΩm |
MPa |
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ppm |
W/mk |
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石墨基材 |
1.85 |
11 |
49 |
58 |
< 20 |
120 | |
