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产品介绍 产品名称：晶片处理 产品大类：半导体 产品小类：晶片处理用部件 添加日期：2011-7-13 石墨作为低原子序数材料，对离子、等离子具有较强的抵抗力，此外具有高纯度化不会产生有害元素的特长。因其可以在恶劣条件下使用而备受关注。 等离子CVD用部件 等离子VCD用感受器、电极室、喷嘴、内衬、离子束用坩埚、溅射用电极、MOVCD感受器等。

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